高纯气体管道阀门及衔接方式
高纯气体管道普遍选用球阀、隔膜阀和波纹管阀，依据气体纯度、有毒性和可燃爆炸性要求选择相适应的阀门。纯度在99．9999％以内的气体管道，选用304不锈钢球阀，能够选用法兰衔接，法兰垫片为软金属垫片、聚四氟乙烯垫片．总杂质含量≤10ppm的气体管道，选用隔膜阀和波纹管阀。可燃爆炸性的气体有必要选用波纹管阀。阀门选用卡套衔接，软金属整片。由于隔膜阀具有波纹管阀相同的密封性能外，还具有阀内死空间小、简单吹除洁净、污染小等杰出特色，总杂质含量≤lppm纯度要求极为严厉的管道以及危险性极大的气体管道，推荐运用隔膜阀。阀门选用VCR卡套衔接，软金属垫片。
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